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永利99yl com:湖南大學(xué)展示納米尺寸垂直晶體管原型器件

來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)?2021-05-08
湖南大年夜學(xué)展示納米尺寸垂直晶體管原型器件

新華社長(zhǎng)沙5月7日電(記者謝櫻、蘇曉洲)記者7日從湖南大年夜學(xué)獲悉。
       劉淵教授團(tuán)隊(duì)?wèi)?yīng)用范德華金屬集成法。
       成功展示了超短溝道垂直場(chǎng)效應(yīng)晶體管。
       其有效溝道長(zhǎng)度最短可小于1納米。這項(xiàng)“微不雅天下”的立異。
       為“后摩爾期間”半導(dǎo)體器件機(jī)能提升增加了盼望。日前。
       這一鉆研成果已頒發(fā)在《自然·電子學(xué)》上。

從21世紀(jì)初開(kāi)始。
       商用謀略機(jī)的主頻便故步自封。
       相關(guān)“摩爾定律”已貼近親近極限——伴隨電子器件縮小。
       溝道長(zhǎng)度也縮短到十納米級(jí)別。
       短溝道效應(yīng)加倍顯明。若何制造出更優(yōu)機(jī)能與更低功耗的電子器件。
       成為“后摩爾期間”舉世半導(dǎo)體領(lǐng)域關(guān)注的焦點(diǎn)之一。

記者從湖南大年夜學(xué)物理與微電子科學(xué)學(xué)院懂得到。
       垂直晶體管具有天然的短溝道特點(diǎn)。
       其研發(fā)有望作為一種全新的器件微縮偏向。如能經(jīng)由過(guò)程進(jìn)一步鉆研將真正的溝道物理長(zhǎng)度縮小至10納米以致5納米以下。
       未來(lái)將可能不再依附傳統(tǒng)的高精度光刻技巧和刻蝕技巧。

劉淵教授團(tuán)隊(duì)采納低能量的范德華電極集成要領(lǐng)。
       實(shí)現(xiàn)了以二硫化鉬作為半導(dǎo)體溝道的薄層以致單原子層的短溝道垂直器件。他們將預(yù)制備的金屬電極物理層壓到二硫化鉬溝道的頂部。
       保留了二維半導(dǎo)體的晶格布局及其固有特點(diǎn)。
       形成抱負(fù)的范德華金屬—半導(dǎo)體界面。經(jīng)由過(guò)程對(duì)垂直器件進(jìn)行微縮。
       垂直晶體管的開(kāi)關(guān)比機(jī)能提升了兩個(gè)數(shù)量級(jí)。

據(jù)懂得。
       這種措施還可以運(yùn)用到其他層狀半導(dǎo)體作為溝道的器件上。
       均實(shí)現(xiàn)了小于3納米厚度的垂直場(chǎng)效應(yīng)晶體管。
       證清楚明了范德華電極集成對(duì)付垂直器件微縮的普適性。這項(xiàng)鉆研有望為制造出擁有超高機(jī)能的亞3納米級(jí)其余晶體管。
       以及制備其他因工藝水平限定而呈現(xiàn)不完美界面的范德華異質(zhì)結(jié)器件。
       為提升芯片機(jī)能供給了一種全新的低能耗辦理規(guī)劃。

該論文第一作者為湖南大年夜學(xué)物理與微電子科學(xué)學(xué)院博士生劉麗婷。
       劉淵教授為通訊作者。

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